目前國內有機廢氣的凈化方法很多，有直接燃燒法、催化燃燒法、吸附法、吸收法、生物法、等離子、UV光解等。

1 直接燃燒法

利用氣態有機物的可燃性，在高溫（燃燒溫度范圍為800～1200℃）燃燒中使有機廢氣通過化學氧化作用和熱分解作用反應生成CO₂和H₂O無害化排放。燃燒時產生大量的熱量可再利用，但不能回收有機物成分。

燃燒法適用于處理高濃度多組分有機廢氣（5000~12000mg/m³），該法需不間斷的外加燃料維持有機物的高溫火焰燃燒條件。該工藝可直接處理含塵有機廢氣且凈化效率高（≥95%），但燃燒設備的一次性投資和運行費用較高，運行管理難度大。

目前主要應用于太陽能、制藥、印刷、汽車等行業的部分特種廢氣凈化處理。

2 催化燃燒法

中等濃度（通常濃度在2000~5000mg/m³之間）的有機廢氣在催化劑（鉬、鉑、鈀等貴金屬）作用下進行低溫氧化無焰燃燒，將有機成分氧化為CO₂和H₂O產物。催化燃燒法的特點：無火焰燃燒易控制，燃燒控制溫度較低（250～300℃之間），外加熱能消耗少，不同的廢氣組分須選擇不同形式的催化劑及燃燒工藝。

進入催化燃燒裝置的氣體必須經過濾處理和預熱處理，使廢氣溫度達到催化劑的起燃溫度（220～250℃之間），除去粉塵顆粒物、液滴等催化抑制劑，避免催化床層的堵塞和催化劑的中毒失效。

目前主要應用于印刷、汽車、電子、五金等行業烘烤固化爐排放的小風量、中高濃度的有機廢氣凈化處理。另外，結合活性炭吸附凈化法一起凈化處理大風量、低濃度有機廢氣是其最主要的應用途徑。

3 吸收法

吸收法即：利用有機廢氣的物理性質，通過適當的吸收劑與廢氣通過氣液傳質作用吸收廢氣中有害氣體組分的方法。其凈化效率低、運行費用高、吸收液造成廢水的二次污染。主要應用于含有固體顆粒物、濃度較低、有一定粘性的有機廢氣的預處理，同時起動一定的降溫作用。

4 吸附法

吸附法即：利用吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）對廢氣中有機組分的吸附性能，使廢氣通過吸附劑層后得以凈化。吸附法凈化效率高、運行費用低、投資成本省，特別適用于絲印、焊錫、噴漆等大風量、低濃度（≤800mg/m³）、無顆粒物的有機廢氣治理。